詳細・特徴

MAシリーズ

• コンパクトデザインにより輸送コストを削減できます。
• 密閉性に優れています。
• 各ウエハーサイズに対応しています。

NAシリーズ

• 別売りのリングスペーサーを使用することで非接触搬送が可能です。
• スナップフィット式なので梱包が容易です。

NDシリーズ

• ダイシングウエハーをフレーム付きで収納できます。
• プロトスフレームと併用で軽量搬送が可能になります。

基材

導電性ＰＰ（NDシリーズND-12：帯電防止/ABS）

商品名	プロトスキャリア（横置き）
メーカー	アキレス株式会社
分類	ウエハー搬送システム

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